Какие меры предосторожности следует соблюдать при использовании вакуумметров?

Как основное оборудование для измерения степени вакуума, точность измерений и стабильность вакуумметра напрямую влияют на качество экспериментов или производственных процессов. Для обеспечения безопасной работы оборудования и получения надежных данных необходимо уделять особое внимание следующим моментам во время использования:

I. Выбор места и условий установки

1. Избегание источников помех: Держаться подальше от источников тепла, таких как выхлопные отверстия вакуумных насосов и нагревательные печи, а также оборудования с сильным магнитным полем, такого как крупные двигатели и трансформаторы. Области с турбулентным потоком воздуха могут вызывать колебания измеряемых значений; локальные изменения давления, вызванные источниками тепла, могут снижать точность; сильные магнитные поля могут нарушать работу электронных схем.

2. Оптимизация условий наблюдения: Высота установки должна соответствовать привычной линии обзора оператора, с зарезервированным достаточным рабочим пространством. Например, в полупроводниковом производственном оборудовании вакуумметры часто устанавливаются на боковой стороне камеры для удобного мониторинга в реальном времени и избежания загрязнения технологическими материалами.

3. Нормы проектирования трубопроводов: Соединительные трубки должны быть короткими и толстыми с соответствующими внутренними диаметрами; следует избегать использования длинных и тонких трубок. Например, в случае модернизации вакуумной печи замена оригинальной 2-метровой тонкой трубки на 0.5-метровую толстую сократила время отклика измерений на 60%.

II. Стандарты эксплуатации и защита безопасности

1. Принцип соответствия диапазону: Выбирайте соответствующий диапазон в соответствии с диапазоном измерений. Например, диапазоны вакуумметра HPM4/6 разделены на 0.001-1.0 Торр (для криогенных контейнеров) и 0.01-20.0 Торр. Использование за пределами диапазона может привести к необратимому повреждению датчика.

2. Управление динамическим процессом: После запуска вакуумного насоса необходимо дождаться стабилизации системы перед снятием показаний. В одном эксперименте с аэрокосмическими материалами из-за невыполнения этого условия произошло отклонение измерений на 35%. Для компрессионных вакуумметров поднимайте ртутный столб медленно и плавно, приостанавливая регулировку при приближении к контрольной линии.

3. Меры против загрязнения: После использования манометра Маклеода немедленно возвращайте его в горизонтальное положение и затягивайте резиновую трубку, чтобы предотвратить обратный поток масла из насоса. На химическом предприятии не выполнили эту операцию, что привело к загрязнению вакуумметра ртутью и увеличению затрат на техническое обслуживание на 20 000 юаней.

III. Техническое обслуживание и управление калибровкой

1. Регулярная очистка и проверка: Еженедельно протирайте поверхность датчика безворсовой тканью, смоченной безводным этанолом; ежемесячно проверяйте герметичность соединительных кабелей. На полупроводниковой производственной линии не заменили вовремя стареющее уплотнение, что привело к превышению годовой нормы утечки на 0.5 Па.

2. Контроль цикла калибровки: Рекомендуется калибровать резистивные вакуумметры каждые 6 месяцев; ионизационные вакуумметры требуют калибровки нулевой точки каждые 3 месяца. В одной оптической лаборатории не проводили регулярную калибровку, что привело к отклонению толщины покрытия на 12%.

3. Требования к условиям хранения: При длительном хранении размещайте в сушильном шкафу с контролируемой относительной влажностью ≤45%. В одном научно-исследовательском учреждении вакуумметр хранился во влажной среде, что привело к коррозии печатной платы и времени ремонта 2 недели.